【科技】国内首个IC设备关键零部件综合服务平台建成并投入采用

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日前，大规模集成电路制造装备及配套技术国家科技重大专业ic设备重要零部件集成制造技术和加工平台的研究开发任务顺利完成和采用，标志着中国ic装备零部件在国产化过程中迈出了重要一步，该行业

随着中国集成电路产业的高速发展，产业的诉求已经占世界的一半以上，但中国的集成电路产业的供给能力只满足国内市场诉求的1/10，单元零部件和零部件的国际采购受到严重制约，国内供应商的辅助能力 中国ic设备生产公司在零部件采购和备件采购过程中采购价格、采购周期不能满足诉求，急需处理零部件和集成制造的本土化。

平台围绕ic装备金属类零件的高效精密加工、表面解决、真空电子束焊接等8个方面展开技术攻关和建设，突破了精密切削加工、特殊表面解决和精密焊接等一系列关键技术。 该平台建设精密机械加工、特殊表面解决、精密焊接一体化的ic设备精密零件综合服务平台，建设国际水平的金属零件表面解决和清洗试验线，许多国际先进的表面解决工艺认证和世界ic设备机械整体的阿

平台以共享、开放的方式为国内北方微电子、上海微电子、沈阳拓津科技、沈阳芯源、沈阳新松等10多家ic装备公司提供产品的研究开发和技术创新、精密机械零部件的加工制造和特殊表面解决服务，一千多 代替进口，降低采购价格，支持产业链高速发展，到去年12月完成了相关销售额5727。